特徴
- コンパクト・モジュラ－タイプ分析計小型で機器組込容易
- 大きく明るいＬＥＤ、操作が簡単
- モニタのインターフェース ＲＳ２３２、電流出力、電圧出力、レンジ識別電圧出力
- アラ－ム出力（上限・下限・システムフォルト）
- 高応答速：15秒以下（90 %）
- 0～１００％まで測定可能
主な用途
- グローブボックス
- 不活性ガス純度/窒素純度システム
- ドライヤー
- 半導体製造
POINT
ミニジルコニア式センサZR500
Neutronics社製 ZR500センサは、測定範囲：0〜100％の高速応答ミニジルコニウム式センサーです。センサにはジルコニアセラミック固体電解質が含まれてます。またプラチナ厚膜ヒーターが内蔵されており、小型かつ低消費電力に設計されています。ZR500センサは多くの他のセンサとは異なり、測定時に基準ガスを使用する必要がありません。代わりに、制限電流タイプの測定メカニズムを使用します。
2年以上のセンサ平均寿命に加えて、ZR500センサーは設置位置の影響を受けず、保管耐久年数に期限はありません。高気圧にさらしても性能に影響はありません。また堅牢な設計の為、乾燥した大気や極端に低温の保管温度でも影響を受けません。正確な測定の為に、システムの試運転時に2点校正をお勧めします。センサの通常使用中は、追加の校正は必要ありません。
内蔵/外付けセンサ
センサは内蔵型と外付けタイプの２種から選定頂けます。内蔵センサータイプは筐体内部のフローチャンバー内に備えられております。外付けセンサータイプの場合は、リモート設置用に設計されたセンサーブロックでラインに取り付けが可能です。
