MBW973-SF6

SF6（六フッ化硫黄）ガスは、京都議定書で削減目標が定められた温室効果ガスであり、単位体積当たり、CO₂比約23,400倍の温室効果があると言われています。SF6ガスは遮断器・変圧器や、半導体プロセスなどに絶縁ガスとして使用され、その絶縁度を維持するために水分・SF6純度の測定は必要不可欠です。
一方、これまでは測定時に大気放出をするか、放出せずコストを掛け回収・分解を行うのが日本では一般的に行われてきました。MBW973-SF6を使用すれば、測定したSF6ガス を大気放出せずそのまま元の機器に戻すことが出来、大気放出をゼロにすることが可能です。

これまでは、求めやすさから静電容量式が一般的に使用されてきました。一方、MBW973-SF6は露点・純度双方の測定において高精度のミラー式を採用しており、各±0.5℃、 0.5％の高精度の測定を応答速良く、且つ経年劣化も少なく行う事が可能です。本機器を使用する事により、オペレーターの作業時間を大幅に削減し、信頼性のある測定を行う事が容易に可能となります。

SF6ガスは水分と反応することにより、HFガス、SO₂ガスを精製します。MBW973-SF6では、0～100ppmまたは0～500ppmの範囲においてSO₂を測定することが可能です。 センサーは電気化学式セルを使用し、フルスケールの±2％の精度での測定が可能です。