技術説明「TK−100露点計」

株式会社テクネ計測のTK-100 シリーズ静電容量式露点計は
強靭且つ高精度の露点計であり
微量水分から大気までを計測可能な信頼性のおける製品です

これらの静電容量式センサーには、最先端の薄膜技術を利用したセラミック水分センサー技術が使用されております。センサーは2つの導電層に挟まれた多孔質な絶縁層における水蒸気の吸着を利用しております。

図:静電容量式露点計構造図

多孔質な絶縁体部分に水分分子が入ることにより上部の多孔質な導電層と下部の導電層との間の電気容量が変化します。この電気容量(静電容量)を水分量として検出を行いセンサー内部でのデジタル処理を通してリニアな出力として出しています。

センサーのセラミック絶縁層は0.5ミクロン以下、上部の多孔質な導電層は0.1ミクロンの薄さであり、水蒸気量の僅かな変化に対してもすばやい応答を行います。この様な薄さでありながら、センサーは強靭であり耐久性に優れております。

最下層であるセラミック基部に上部層はスパッタリング処理されますので、各層の均一性を維持できるため、安定的な測定をお約束します。